安全·節(jié)能防爆電加熱導熱油爐江蘇省「專精特新 」「瞪羚企業(yè) 」 國家高新技術(shù)企業(yè)
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合作項目：半導體制造蒸發(fā)器加熱
合作產(chǎn)品：280KW電加熱導熱油爐
合作時間：2025年3月
半導體制造過程中產(chǎn)生的廢水含有多種復雜成分，需通過蒸發(fā)濃縮處理。半導體企業(yè)采用電加熱導熱油爐為蒸發(fā)器提供熱源，處理高濃度廢水。
蒸發(fā)器需將廢水加熱至120℃實現(xiàn)水分蒸發(fā)，剩余濃縮廢液便于后續(xù)處置。由于半導體生產(chǎn)連續(xù)性要求高，任何溫度波動都可能影響廢水處理效率，甚至導致產(chǎn)線停滯，因此對熱源穩(wěn)定性要求苛刻。
控溫對象為蒸發(fā)器夾套內(nèi)的導熱油，要求油溫穩(wěn)定在120℃，系統(tǒng)需實時監(jiān)控溫度、壓力及流量參數(shù)，同時需支持遠程監(jiān)控和異常報警功能。
解決方案采用兩臺280KW電加熱導熱油爐，一用一備，通過PLC集成控制，實時調(diào)節(jié)加熱功率，確保油溫波動在允許范圍內(nèi)。系統(tǒng)配備多級安全保護，包括超溫自動斷電、壓力異常報警等。
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